Pengaruh perbedaan material target sputtering terhadap konstanta optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode dc sputtering

Pengaruh peningkatan flow gas metan terhadap sifat optis lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering

Studi disorder lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering

Penentuan konstanta optis dengan menggunakan spektrum transmisi untuk lapisan tipis amorf silikon karbon(a-SiC:H) hasil deposisi DC sputtering

Kehadiran tetrahedral denganikatan homopolar pada lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode Dc sputtering dengan target grafit dan silikon