Pengaruh perbedaan material target sputtering terhadap konstanta optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode dc sputtering

Pengaruh anil termal terhadap besarn optis lapisan tipis a-SiC:H hasil metode sputtering I. target silikon

Penentuan jenis kecenderungan ikatan lokal atomik untuk lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi sputtering dengan 2 jenis target: grafit dan siliko

Identifikasi struktur ikatan pada lapisan tipis amorf silikon karbon (A-sic:H) hasil deposisi DC sputtering dengan menggunakan spektroskopi inframerah

Pengaruh peningkatan flow gas metan terhadap sifat optis lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering