Studi spektroskopu electron spin resonance lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering

Studi disorder lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering

Studi spektroskopi ellipsometri lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) yang dihasilkan dengan metode deposisi DC sputtering

Identifikasi struktur ikatan pada lapisan tipis amorf silikon karbon (A-sic:H) hasil deposisi DC sputtering dengan menggunakan spektroskopi inframerah

aPengaruh perbedaan material target sputtering terhadapkonstansa optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode DC Sputtering