Penentuan konstanta optis dengan menggunakan spektrum transmisi untuk lapisan tipis amorf silikon karbon(a-SiC:H) hasil deposisi DC sputtering

Pengaruh perbedaan material target sputtering terhadap konstanta optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode dc sputtering

Penetuan koefisien absorpsi optis semikonduktor amorf dan mikrokristalin silikon karbon

Pengaruh konsentrasi karbon dan perlakuan anil terhadap konstanta optis semikonduktor amorf silikon karbon untuk beberapa metode deposisi

Penentuan jenis kecenderungan ikatan lokal atomik untuk lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi sputtering dengan 2 jenis target: grafit dan siliko