Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

"Sensor spektral molekuler merupakan sensor menggunakan kaidah elektroda bergerak (MEMS) sebagai elektroda pengukur kapasitansi dari bahanbahan diatasnya menggunakan konsep FEF). FEF adalah Fringing Electric Field. Dalam skripsi ini, dibuat rancang bangun sederhana dengan menghitung satu bagian elektroda bergerak tersebut. Contoh perhitungan dan contoh simulasi dari salah satu bagian terkecil elektroda bergerak sensor tersebut. Contoh perhitungan dan simulasi tersebut meliputi konstanta pegas (berat dari bandul (proofmass)) dan koefisien damping. Selanjutnya juga dihitung frekuensi resonansi mekanis dari elektroda tersebut.

---

Molecular spectral sensor is a sensor electrode using a rule to move (MEMS) as the measuring electrode capacitance of the materials on it (using the concept of FEF). FEF is a fringing Electric Field. In this minithesis, simple design made by calculating a moving part of the electrode. Example of calculation and simulation example of one of the smallest electrode is moving sensors. Examples include the calculation and simulation of spring constant (the weight of the pendulum (proof mass)) and damping coefficient. Furthermore, it also calculated the mechanical resonance frequency of these electrodes."

"Sensor spektral molekuler merupakan sensor menggunakan kaidah elektroda bergerak (MEMS) sebagai elektroda pengukur kapasitansi dari bahan-bahan diatasnya (menggunakan konsep FEF). FEF adalah Fringing Electric Field. Dalam skripsi ini, dibuat rancang bangun sederhana dengan menghitung satu bagian elektroda bergerak tersebut. Contoh perhitungan dan contoh simulasi dari salah satu bagian terkecil elektroda bergerak sensor tersebut. Contoh perhitungan dan simulasi tersebut meliputi konstanta pegas (berat dari bandul (proofmass) dan damping coeffisient). Selanjutnya juga dihitung frekuensi resonansi mekanis dari elektroda tersebut.

---

Molecular spectral sensor is a sensor electrode using a rule to move (MEMS)as the measuring electrode capacitance of the materials on it (usingthe concept of FEF).FEF is a fringing Electric Field.In this skripsi,simple design made by calculating a moving part of the electrode.Example of calculation and simulation example of one of the smallest electrode is moving sensors.Examples include the calculation and simulation of spring constant (theweightof the pendulum (proofmass)and damping coefficient).Furthermore, it also calculated the mechanical resonance frequency of these electrodes."

"Penggunaan resonator MEMS (Microelectromechanical system) telah dikembangkan pada aplikasi komunikasi nirkabel seperti osilator, switch RF dan filter pada domain frekuensi sangat tinggi. Untuk mencapai frekuensi tersebut resonator yang digunakan harus kaku, akibatnya perpindahan mekaniknya menjadi sangat kecil Dalam tesis ini dibahas tentang resonator MEMS band pass filter RF mobile WiMAX pada frekuensi 2,3 GHz. Resonator dianggap sebagai mobile gate yang beresonansi diatas saluran, daerah penguras (drain) dan daerah sumber (source) . Untuk mengoptimalkan faktor aktuasi dan deteksi dan juga mencocokkannya dengan skala resonator maka geometri resonator dikembangkan dengan menggabungkan bagian aktuasi dan deteksi MOSFET dalam satu perangkat yang dikenal sebagai Resonant Suspended Gate (RSG-MOSFET). Resonator MEMS bandpass filter dirancang dalam 2 model yaitu resonator MEMS bandpass filter menggunakan bahan polysilicon (0,7μm x 1,1μm x 1μm) dengan frekuensi tengah resonansi 2,358 GHz dan model 2 adalah resonator MEMS bandpass filter menggunakan bahan polysilicon dan Zinc oxide (ZnO) yang disusun bertumpuk ukuran lebar 0,8μm, panjang 3,5 μm dan tebal masingmasing 0,5 μm yang menghasilkan frekuensi tengah resonansi 2,352 GHz.

---

Wireless application requires the use of MEMS resonators in the ultra high frequency domains such as oscillator, RF switch and filter. To achieve those frequencies, resonators should be very stiff. At resonance, displacement induces a maximal capacitance variation, measured as a peak of motional current. In this research, discussed about RSG- MOSFET for MEMS band pass filter RF WiMAX IEEE 802.16e at 2.3 GHz work frequency. RSG MOSFET consist of a cc-beam resonator which is considered as a mobile gate resonating over the channel, source and, the drain current. Based on the same principle, compact resonator geometry was developed to optimize the actuation and detection aspects and make it suitable for scaled resonators. The actuation and the detection parts are then combined in a single device. The bandpass or resonator filter designed using combination of polysilicon and ZnO2, i.e. structured into polysilicon (0.7μm x 1.1 μm x 1 μm) and polysilicon/ZnO (0.8μm x 3.5 μm x 1 μm) resonator filter, which produced mechanical resonant frequency of 2.358 GHz and 2.352 GHz, respectively."

"Perkembangan teknologi akses nirkabel berkembang secara pesat untuk memenuhi tuntutan pengguna yang membutuhkan komunikasi dengan kecepatan tinggi, kapasitas besar (broadband) dan mobilitas yang tinggi. Salah satu teknologi yang dihasilkan adalah WiMAX (Worldwide interoperability for Microwave Access) yang berdasarkan standar IEEE 802.16. Di Indonesia sistem komunikasi mobile WiMAX ini bekerja pada spektrum frekuensi 2. 3 GHz sesuai dengan keputusan Menteri Komunikasi dan Informasi Republik Indonesia. Untuk mengantisipasi perkembangan trend WiMAX di Indonesia, kami mencoba untuk melakukan riset yang fokus pada perangkat RF (Radio Frequency) yaitu mixerfilter dengan menggunakan teknologi RF-MEMS yang naik daun sejak akhir abad 20. MEMS mixer-filter terdiri atas dua buah clamped resonator yang masingmasing mempunyai frekuensi center dan terhubung dengan sebuah batang (bar). Resonator pertama berfungsi sebagai mixer dan kedua sebagai filter, dimana mempunyai selective low-loss filtering yang tinggi. Kedua resonator dan coupling bar dirancang dengan menggunakan dua buah material yang bertumpuk, yaitu polysilicon dan zinc oxide untuk mendapatkan frekuensi yang tinggi. Mixer-filter ini dapat mengkonversikan frekuensi RF (Radio Frequency) 2,3 GHz dan frekuensi LO (Local Oscillator) sebesar 2,2 GHz menjadi frekuensi IF (Intermediate Frequency) sebesar 99,69 MHz yang mempunyai bandwidth 4,3 MHz.

---

The development of wireless access technology has rapidly evolved to meet the demands of users who require high-speed communications, large capacity (broadband) and high mobility. One of the resulting technology is WiMAX (Worldwide interoperability for Microwave Access) is based on the IEEE 802.16 standard. In Indonesia, the WiMAX mobile communication system is working on 2.3 GHz frequency spectrum. In accordance with the decision of the Minister of Communications and Information - Republic of Indonesia.

To anticipate the trend growth of WiMAX in Indonesia, we are trying to do research that focuses on the device RF (radio frequency) i.e. a mixer-filter using RF-MEMS technology that has been booming since last 20th century. Mixer-filter MEMS consists of two clamped resonator each have a center frequency and is connected to a rod (bar). The first resonator functions as a mixer and the second as a filter, which has a selective filtering of low-loss high. Both resonator and coupling bar designed by using two overlapping material, i.e poly-silicon, and zinc oxide to obtain high IF (intermediate frequency). Mixer-filter can down-convert the RF frequency of 2.3 GHz and LO frequency of 2.2 GHz to IF frequency of 99.69 MHz which has a bandwidth of 4.3 MHz."

"Penggunaan resonator MEMS (Microelectromechanical system) telah dikembangkan pada aplikasi komunikasi nirkabel seperti osilator, switch RF dan filter pada domain frekuensi sangat tinggi. Untuk mencapai frekuensi tersebut resonator yang digunakan harus kaku, akibatnya perpindahan mekaniknya menjadi sangat kecil Dalam tesis ini dibahas tentang resonator MEMS band pass filter RF mobile WiMAX pada frekuensi 2,3 GHz. Resonator dianggap sebagai mobile gate yang beresonansi diatas saluran, daerah penguras (drain) dan daerah sumber (source). Untuk mengoptimalkan faktor aktuasi dan deteksi dan juga mencocokkannya dengan skala resonator maka geometri resonator dikembangkan dengan menggabungkan bagian aktuasi dan deteksi MOSFET dalam satu perangkat yang dikenal sebagai Resonant Suspended Gate (RSG-MOSFET). Resonator MEMS bandpass filter dirancang dalam 2 model yaitu resonator MEMS bandpass filter menggunakan bahan polysilicon (0,7_m x 1,1_m x 1_m) dengan frekuensi tengah resonansi 2,358 GHz dan model 2 adalah resonator MEMS bandpass filter menggunakan bahan polysilicon dan Zinc oxide (ZnO) yang disusun bertumpuk ukuran lebar 0,8??m, panjang 3,5 ??m dan tebal masingmasing 0,5 _m yang menghasilkan frekuensi tengah resonansi 2,352 GHz.

---

Wireless application requires the use of MEMS resonators in the ultra high frequency domains such as oscillator, RF switch and filter. To achieve those frequencies, resonators should be very stiff. At resonance, displacement induces a maximal capacitance variation, measured as a peak of motional current. In this research, discussed about RSG- MOSFET for MEMS band pass filter RF WiMAX IEEE 802.16e at 2.3 GHz work frequency. RSG MOSFET consist of a cc-beam resonator which is considered as a mobile gate resonating over the channel, source and, the drain current.

Based on the same principle, compact resonator geometry was developed to optimize the actuation and detection aspects and make it suitable for scaled resonators. The actuation and the detection parts are then combined in a single device. The bandpass or resonator filter designed using combination of polysilicon and ZnO2, i.e. structured into polysilicon (0.7_m x 1.1 _m x 1 _m) and polysilicon/ZnO (0.8_m x 3.5 _m x 1 _m) resonator filter, which produced mechanical resonant frequency of 2.358 GHz and 2.352 GHz, respectively."

"Teknologi alat akuisi seismic sudah semakin berkembang. Pada penelitian sebelumnya sudah dilakukan penelitian mengenai alat akuisisi sinyal seismik berbasis sensor accelerometer MEMS. Sehingga pada penelitian ini telah memperbaharui alat akuisisi sinyal seismik dari sisi komunikasi agar dapat mengakuisisi lebih banyak geophone atau alat akuisisi sinyal seismik. Selain itu agar jangkauan kabel atau jarak antar geophone juga semakin panjang. Keluaran data dari sistem ini hamper setara dengan keluaran data dari geophone konvensinal. Sistem ini menggunakan Modul SPI Extender untuk membuat satu buah Raspberry Pi dapat mengakuisisi geophone MEMS dengan lebih banyak dan jengan jangakaun kabel yang lebih panjang. Hasil respon atau keluaran dari geophone disimpan kedalam Raspberry Pi terlebih dahulu untuk kemudian bisa diambil secara wireless oleh komputer host. Uji coba dilakukan di Universitas Indonesia.

---

The technology of seismic acquisition instrumentation has getting developed. In previous research, a study of seismic signal acquisition instrumentation based on MEMS accelerometer sensor has been done. This research has renewed seismic signal accelerometer by communication aspect to acquire more geophones or seismic signal acquisition instrumentation. Output data of this system is almost same with output from conventional geophone. This system uses SPI Extender modul to make one Raspberry Pi to acquire more MEMS geophone and with further cable reach. Respond result or output of geophone is saved into Raspberry Pi first so that it can be taken wirelessly by host computer. Trial test is done at Universitas Indonesia."

"Sensor percepatan tipe kapasitif menggunakan prinsip kapasitif dalam mendeteksi fisis berupa percepatan menjadi besaran listrik berupa tegangan output. Performa dari suatu sensor percepatan dapat ditingkatkan dengan memperkecil jarak antara pelat elektroda dan dengan memperluas sensing area. Pada skripsi ini dirancang suatu sensor percepatan divais Mikro Electro Mechanical System (MEMS) dengan perubahan sensing area yang bertujuan untuk meningkatkan sensitivitas sensor. Perluasan sensing area dilakukan dengan mengubah bentuk pelat elektroda dari pelat datar menjadi pelat segitidan dan pelat setengah lingkaran. Pelat segitiga yang digunakan bersudut 5°, 10°, 60°, 120°, dan 150° dengan masing-masing sudut mengalami perubahan alas dari 1 μm, 2 μm, 5 μm, 10 μm, 11 μm, 22 μm, 55 μm, 10 μm, 22 μm, 55 μm, dan 110 μm. Unjuk kerja sensor rancangan yang dilakukan dengan simulasi menunjukkan sensitivitas sensor percepatan pelat segitiga dengan sudut 5° dan 10° lebih besar dibandingkan dengan pelat datar (5,04.10 -5 F/m/s2 & 5,22.10 -5 F/m/s2 > 4,66.10 -5 F/m/s2), sedangkan sensitivitas maksimum dari sensor percepatan setengah lingkaran masih lebih kecil dibandingkan dengan pelat datar (4,55.10 -5 F/m/s2 < 4,66.10 -5 F/m/s2)."

"Keunggulan teknologi WiMAX dibandingkan dengan teknologi yang sudah ada adalah kemampuan cakupan sinyal yang lebih luas. Seiring dengan percepatan pembangunan teknologi telekomunikasi, komponen dan perangkat juga hadir untuk melengkapi kisi desain sistem telekomunikasi yang cenderung relatif kecil dengan konsumsi daya rendah. Salah satu teknologi yang saat ini sedang berkembang pesat adalah micro-electronic and mechanical system (MEMS). Dalam sistem telekomunikasi, osilator yang mempunyai fungsi untuk membangkitkan gelombang RF sebagai masukan modul mixer yang selanjutnya dilakukan pencampuran dengan sinyal RF untuk menghasilkan sinyal IF, oleh karenanya kestabilan osilator sangat menentukan performansi transmitter maupun receiver pada perangkat WiMAX, sehingga memerlukan pemilihan teknologi resonator yang mempunyai sifat relatif stabil. Teknologi osilator yang sering digunakan saat ini ada berbagai jenis antara lain Osilator LC, Osilator Hartley, Osilator Colpitts dan Osilator MEMS yang didalamnya ada kandungan material piezoelektrik. Hasil desain osilator berbasis MEMS dengan menggunakan bentuk geometris cincin-persegi dan struktur material menggunakan piezoelektrik ZnO yang diapit oleh kedua elektroda Polysilicon. Dari hasil simulasi, frekuensi 2,3 GHz dapat terpenuhi dengan menggunakan dimensi sekitar 90 µm x 12 µm x 1 µm. Dengan membuat lubang kecil di sisi horizontal cincin dapat meningkatkan frekuensi resonansi berkisar antara 23-96 MHz dengan dimensi yang sama dengan yang tidak berlubang. Ketebalan optimum bahan untuk memproduksi frekuensi resonansi sebesar 2,3 GHz dicapai dengan menggunakan variasi ketebalan bahan piezoelektrik (ZnO) 1,085µm dan kedua elektroda Polysilicon 0,110 µm, dan faktor kualitas Q yang dihasilkan berkisar 950 pada bandwidth 3 dB down sebesar 2,42105 MHz dan lebar bandwidth operasional yang dihasilkan oleh resonator ini sekitar 3 Mhz serta return loss (S11) sekitar -57 dB.

---

The advantages of WiMAX compared to existing technologies is the ability to signal a broader coverage area. Along with the accelerated development of telecommunications technology, components and devices were also present to complement the lattice design of telecommunications systems which tend to be relatively small with low power consumption. One technology that is currently emerging is the micro-electronic and mechanical systems (MEMS). In telecommunications systems, oscillators which have a function to generate the RF wave as the input mixer module and then make the mixing with the RF signals to generate IF signal, thereby determining the stability of the oscillator is the transmitter and receiver performance of WiMAX devices, thus requiring the selection of technology that has the properties of the resonator relatively stable. Oscillator technology that is often used when there are various types such as LC Oscillator, Hartley Oscillator, Colpitts Oscillator and Oscillator in which existing MEMS piezoelectric material content. Results of design MEMS-based oscillator using square-ring shaped geometric and structures using piezoelectric ZnO material is sandwiched between two polysilicon electrodes. From the simulation results, the frequency of 2.3 GHz can be accomplished using the dimensions of about 90 µm x 12 µm x 1 µm. By making a small hole in the side of a horizontal ring can increase the resonance frequency ranging from 23-96 MHz with the same dimensions that are not perforated. The thickness of the material to produce optimum resonance frequency of 2.3 GHz is achieved by using a variation of the thickness of piezoelectric material (ZnO) 1.085 µm and 0.110 µm both polysilicon electrode, and the resulting quality factor Q about 950 at 3 dB down bandwidth of 2.42105 MHz and operational bandwidth generated by the resonator is approximately 3 MHz and the return loss (S11) of approximately -57 dB."

"Filter Microelectromechanical System (MEMS) berjenis Thin Film Bulk Acoustic Resonator (TFBAR) adalah filter akustik yang bekerja dengan memanfaatkan fenomena material piezoelektrik yang digunakan sebagai resonator. Filter TFBAR mempunyai keunggulan-keunggulan yaitu bekerja pada frekuensi tinggi serta memiliki ukuran yang kecil (terintegrasi dalam chip), insertion loss rendah dan fabrikasi sederhana sehingga cocok untuk diaplikasikan dalam sistem mobile WiMAX 2,3 GHz. Skripsi ini bertujuan untuk merancang band pass filter TFBAR bertopologi tangga dengan mengoptimasi bandwidth, insertion loss dan VSWR resonator TFBAR yang sudah ada, karena parameter-parameter tersebut akan mempengaruhi unjuk kerja filter yang tersusun atas resonator-resonator tersebut. Pada skripsi ini, dalam pembuatan ulang resonator dalam software Electromagnetic 3D Simulator, dilakukan modifikasi terhadap desain Dr. Marco Farina agar lebih menyerupai desain filter TFBAR acuan. Validasi menunjukkan bahwa desain yang telah dimodifikasi menunjukkan hasil yang lebih akurat. Setelah validasi, optimasi resonator seri dan paralel dilakukan menggunakan software Electromagnetic 3D Simulator. Kemudian, S-parameter resonator dimasukkan ke dalam software Advanced Design System untuk membentuk filter. Ukuran akhir resonator seri dan paralel adalah 58,5 dan 200 µm2. Bandwidth maksimal resonator adalah 73 MHz. Setelah disusun menjadi filter, bandwidth maksimal yang didapat adalah 61 MHz. Pada skripsi modifikasi inductive widebanding dilakukan untuk memperbesar bandwidth, hasil akhir didapatkan bandwidth 70 MHz, insertion loss 0,47 dB, atenuasi out of band lebih dari 20 dB dan VSWR 1,061. Filter TFBAR yang dirancang memenuhi kriteria mobile WiMAX untuk insertion loss, atenuasi out of band, VSWR dan bandwidth yang belum memenuhi sebesar 100 MHz.

---

Thin Film Bulk Acoustic Resonator (TFBAR) filter, one kind of Microelectromechanical System (MEMS) filter, is an acoustic filter working based on the piezoelectric material phenomenon which is used as the resonator. TFBAR filters have several advantages, which are their high frequencies range, small sizes (integrated in a chip), low insertion loss and simple fabrication. Thus, they are suitable for Mobile WiMAX 2,3 GHz application.

This research is intended to design a TFBAR band pass filter with ladder topology by optimizing the bandwidth, insertion loss and VSWR of the existing TFBAR, for it will affect the same filter's parameter. In remaking the filter, the design of Dr. Marco Farina is modified in order to resemble the reference filter better.

The validation indicated that the modified resonator has showned more accurate result. Afterwards, the optimization of the series and shunt resonators is done using the software Electromagnetic 3D Simulator. Subsequently, the resonator's S-parameters were inputted into the Advanced Design System to build the filter. The final size of series resonators are 58,5 and 200 µm2. The maximum bandwidth of a unit resonator is 73 MHz. After cascaded in ladder topology, the maximum bandwidth of the filter was 61 MHz. A modification technique called inductive wide banding is implemented to widen the bandwidth.

The final results are 70 MHz bandwidth, the insertion loss 0.47 dB, out of band attenuation more than 20 dB and VSWR 1,061. The TFBAR filter had fulfilled the insertion loss, out of band attenuation and VSWR's specification for mobile WiMAX, but the bandwidth had not reached 100 MHz yet."

"ABSTRAKMEMS Variable capacitor telah banyak digunakan pada teknologi sekarang ini.Telah banyak jenis dan modifikasi yang dibuat untuk memaksimalkan nilai yangdidapat atau untuk mendapatkan berbagai hasil, kegunaan, dan lain-lain. MEMSVariable capacitor empat tiang dengan Comb-drive Actuators ini dirancangdengan menggunakan sebuah pelat stastis kemudian sebuah pelat bergerak padabagian atas dan ditopang empat tiang pada setiap sisi, Crab-leg Flexure sebagaipegasnya, serta Crab-leg Flexure yang menggunakan prrinsip elektrostatik padapengoperasiannya. Dengan penambahan aktuator elektrostatik pada MEMSvariable capacitor ini, frekuensi kerja dapat diubah-ubah dengan pengaturantegangan yang diberikan pada aktuator tersebut. Dengan frekuensi kerja yangdapat diubah-ubah ini, MEMS Variable capacitor dapat digunakan secara lebihluas lagi

---

ABSTRACTMEMS Variable capacitor has been used for technology nowadays. It has beenmany kinds and modifications for maximizing its value or for application. Fourpillars MEMS Variable capacitor combined with Comb-drive Actuators isdesigned by using static plate then a plate moves above it and four pillarssupported at every side. Crab-leg Flexure is used as spring and using elctrostaticprinciple in the operation. Electrostatic actuator addition to MEMS Variablecapacitor makes the frequency of work can be changed by controlling voltage tothe actuator. By controlling this frequency of work, MEMS Variable capacitor canbe used for more application."