Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

Hasil Pencarian

Ditemukan 216799 dokumen yang sesuai dengan query
cover
Desmalayati
"Tindakan bedah CABG merupakan pilihan utama untuk pasien-pasien yang mengalami angina yang tidak dapat dikontrol dengan pengobatan dan PCI. Setiap Tindakan pembedahan berisiko untuk menimbulkan komplikasi. Komplikasi hipoksia post CABG dapat terjadi dikarenakan pertukaran gas yang tidak sempurna. Posisi pasien perawatan intensif dapat diterapkan untuk meningkatkan saturasi oksigen darah arteri, mencegah atelektasis dan pengumpulan lendir. Posisi pasien yang tepat dapat mencegah terjadinya komplikasi hipoksia. Tujuan penelitian untuk mengidentifikasi perbedaan posisi semi Fowler dan Supine pada saturasi oksigen pada pasien yang menjalani post-CABG dengan harapan dapat menjadi acuan baku bagi perawat yang bekerja di ruang kritikal. Desain penelitian quasi-experimental dengan menggunakan two group pretest-posttest design. Jumlah sampel pada masing-masing kelompok sebanyak 12 responden dengan pengambilan sampel consecutive sampling. Analisis menggunakan uji Mann Whitney dan uji wilcoxon. Terdapat perbedaan saturasi oksigen yang bermakna sebelum dan setelah pengaturan posisi Semi Fowler maupun Supine; serta terdapat perbedaan saturasi oksigen yang bermakna antara posisi Semi Fowler dan Supine setelah pengaturan posisi. Berdasarkan hasil temuan ini, pengaturan posisi semifowler bisa diterapkan untuk meningkatkan status oksigenasi pasien post CABG.

CABG surgery is the main choice for patients who experience angina that have not been controlled effectively with medication and PCI. The procedure has a risk of complications. Complication of hypoxia after CABG occurs due to imperfect gas exchange. Positions of Intensive care patient can be applied to improve arterial blood oxygen saturation, preventing atelectasis and mucus accumulation. Appropriate patient position can prevent hypoxic complications. The aim of the research was to identify differences between Semi Fowler and Supine positions in oxygen saturation among patients undergoing post-CABG with the expectation that. This result could become a standard reference for nurses working in critical wards. A Quasi-experimental research design using a two-group pretest-posttest design. The number of samples in each group was 12 respondents using a consecutive sampling approach. The Analysis in the study used the Mann Whitney and Wilcoxon tests. The findings showed that there is a significant difference in oxygen saturation before and after in Semi Fowler and Supine positions; and there is a significant difference in oxygen saturation after the position given between the Semi Fowler and Supine positions. Therefore, based on the findings above, the Semi Fowler position can be applied to improve the patient's oxygenation status after CABG."
Depok: Fakultas Ilmu Keperawatan Universitas Indonesia, 2023
T-pdf
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library
cover
Rio Rahmadi
"Pendahuluan dan tujuan: Percutaneus Nephrolithotomy (PCNL) adalah prosedur invasif minimal yang digunakan untuk mengangkat batu ginjal dengan mengakses sistem pelviokalises secara perkutan. Penelitian ini dirancang untuk membandingkan efikasi dan keamanan posisi terlentang dan tengkurap dalam Percutaneus Nephrolithotomy (PCNL) yang digunakan untuk pengobatan batu ginjal pada pasien Indonesia.
Metode: Studi ini adalah uji coba terkontrol acak samar tunggal dari pasien yang menjalani PCNL dari Februari hingga Mei 2018. Terdapat 19 subjek pada kelompok supine dan 19 pada kelompok prone dengan total 38 subjek penelitian. Hasil penelitian yang dibandingkan meliputi waktu operasi, lama rawat inap, angka bebas batu, kehilangan darah, konversi ke operasi terbuka, transfusi darah, dan komplikasi. Hasil ini dievaluasi menggunakan uji T independent dan uji chisquare.
Hasil: Tidak ada perbedaan signifikan pada demografi pasien atau lokasi batu antara kedua kelompok. Selain itu, rata-rata waktu operasi, LOS, kehilangan darah, dan transfusi darah tidak berbeda secara statistik. Ada tingkat bebas batu yang lebih tinggi pada kelompok terlentang dibandingkan kelompok rawan (70,0% vs 47,4%, masing-masing, p = 0,151). Subyek lebih banyak ditransfusikan pada kelompok terlentang (30,0%) dibandingkan kelompok rawan (15,8%), tetapi perbedaan ini tidak signifikan secara statistik (p = 0,292). Satu-satunya komplikasi adalah laserasi infundibular, yang terjadi pada 20% subjek pada kelompok terlentang dan 15,8% subjek pada kelompok telungkup (p = 0,732).
Kesimpulan: Studi ini menunjukkan bahwa posisi supine dan prone untuk PCNL memiliki hasil efikasi dan keamanan yang serupa.

Introduction: The percutaneous nephrolithotomy (PCNL) is a minimally invasive procedure used to remove kidney stones by accessing the pelvicalyceal system percutaneously. This study was designed to compare the efficacy and safety of the supine and prone positions in percutaneous nephrolithotomies (PCNLs) used for the treatment of kidney stones in Indonesian patients.
Methods: This was a single-blinded randomized controlled trial of those patients undergoing PCNLs from February to May of 2018. There were 19 subjects in the supine group and 19 in the prone group for a total of 38 study subjects. The study outcomes that were compared included the operative time, length of hospital stay (LOS), stone-free rate, blood loss, conversion to open surgery, blood transfusion, and complications. These outcomes were evaluated using the Student's t test and the chi-squared test.
Results: There were no significant differences in the patient demographics or stone locations between the two groups. Additionally, the medians of the operative times, LOSs, blood losses, and blood transfusions were not statistically different. There was a higher stone-free rate in the supine group than in the prone group (70.0% vs. 47.4%, respectively, p = 0.151). More subjects were transfused in the supine group (30.0%) than in the prone group (15.8%), but this difference was not statistically significant (p = 0.292). The only complications were infundibular lacerations, which occurred in 20% of the subjects in the supine group and 15.8% of the subjects in the prone group (p = 0.732).
Conclusion: This study showed that the supine and prone positions for PCNLs had similar efficacy and safety outcomes.
"
Jakarta: Fakultas Kedokteran Universitas Indonesia, 2022
T-pdf
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library
cover
Ida Amalia
"Tatalaksana tindakan invasif berupa pemasangan ETT dan ventilator dalam pemenuhan kebutuhan oksigenasi pasien secara tidak langsung akan berdampak pada keamanan dan kenyamanan fisiologis pasien. Hal ini terjadi karena adanya peningkatan tekanan reflek faring dan laring serta penurunan reflek batuk pasien yang berakibat adanya akumulasi sekret berlebih sebagai penyebab terjadinya iritasi/trauma mekanis dan peningkatan resiko VAP pada pasien. Tindakan clapping dan suction yang dilakukan merupakan beberapa upaya rehabilitative dalam meminimalisir dampak negatif yang muncul.  Tujuan penelitian ini adalah untuk mengetahui perbedaan pengaruh clapping + suction dan suction terhadap saturasi oksigen dan kenyamanan pada pasien yang terpasang ventilator di ruang intensive. Sampel dalam penelitian ini berjumlah 36 responden yang dibagi menjadi 18 responden kelompok intervensi 1 (clapping dan suction) dan 18 responden kelompok intervensi 2 (suction). Metode  penelitan ini adalah quasy eksperiment dengan desain Pre test and post test pada kedua kelompok intervensi. Hasil penelitian ini menunjukan terdapat perbedaan yang bermakna  terhadap parameter SpO2 pasien pada kelompok intervensi 1 dan kelompok intervensi 2 (p value 0, 029 ) dimana pada pada kelompok intervensi 1 memiliki perubahan skor rerata lebih tinggi dibanding pada kelompok intervensi 2, sedangkan pada parameter kenyamanan pasien tidak ada perbedaan yang signifikan antara kelompok intervensi 1 dan kelompok intervensi 2 ( p value 0, 078 ). Dengan tindakan clapping dan suction akan memaksimalkan airway pasien dalam meningkatkan status oksigenasi dan fungsi fisiologis paru pasien. Hasil dari penelitian ini diharapkan menjadi suatu gold standar baru berupa pemberian intervensi clapping dan suction khususnya pada pasien dengan penggunaan ventilator diruang intensive.

Management of invasive measures in the form of ETT and ventilator installation in meeting the patient's oxygenation needs will indirectly have an impact on the safety and physiological comfort of the patient. This is due to an increase in pharyngeal and laryngeal reflex pressure and a decrease in the patient's cough reflex which results in the accumulation of excess secretions as a cause of mechanical irritation/trauma and an increased risk of VAP in patients. The clapping and suction actions taken are some of the rehabilitative efforts in minimizing the negative impacts that arise. The purpose of this study was to determine the difference in the effect of clapping + suction and suction on oxygen saturation and comfort in patients who are on a ventilator in the intensive care unit. The sample in this study amounted to 36 respondents who were divided into 18 respondents in the intervention group 1 (clapping and suction) and 18 respondents in the intervention group 2 (suction). This research method is a quasi-experimental design with pre-test and post-test in both intervention groups. The results of this study indicate that there is a significant difference in the SpO2 parameter of patients in the intervention group 1 and intervention group 2 (p value 0.029) where the intervention group 1 has a higher mean score change than in the intervention group 2, while the patient comfort parameter there was no significant difference between intervention group 1 and intervention group 2 (p value 0.078). Clapping and suctioning will maximize the patient's airway in improving the oxygenation status and physiological function of the patient's lungs. The results of this study are expected to become a new gold standard in the form of providing clapping and suction interventions, especially in patients using ventilators in the intensive room."
Jakarta: Fakultas Kedokteran Universitas Indonesia, 2022
T-pdf
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library
cover
Khadijah
"Peningkatan kasus Coronavirus Disease (COVID 19) tidak hanya terjadi di dunia, tapi juga di Indonesia dalam dua bulan terakhir. COVID 19 menjadi penyebab masalah pernapasan akut pada tubuh yang apabila tidak ditangani dengan cepat dapat menyebabkan kematian. Laporan kasus ini melaporkan tentang analisis terhadap pemberian intervensi keperawatan pendukung terapi oksigen dengan nasal kanul dan posisi semi-fowler pada pasien COVID 19 yang secara standar mendapat terapi oksigen dengan non-rebreathing mask. Laporan kasus ini menggunakan metode case report dan dievaluasi melalui hasil pengukuran saturasi oksigen, frekuensi napas, dan keberadaan work of breathing pada pasien COVID 19 derajat sedang-berat-kritis. Intervensi yang diberikan adalah pemberian intervensi keperawatan berupa terapi oksigen dengan non-rebreathing mask, nasal kanul, dan pemberian posisi semi-fowler. Intervensi dilakukan dalam satu kali shift dengan observasi setiap 15 menit dalam 1 jam pertama pada tiga partisipan. Hasil evaluasi pada laporan kasus ini yaitu intervensi terbukti mampu meningkatkan oksigenasi pada pasien COVID 19. Akan tetapi, intervensi ini belum dapat mengatasi masalah keperawatan gangguan pertukaran gas pada pasien COVID 19. Saturasi oksigen dan frekuensi pernapasan mengalami perbaikan, namun frekuensi napas dan work of breathing masih menunjukkan angka yang tinggi. Perawat perlu mencari modifikasi intervensi lain yang dapat meningkatkan perbaikan pada pasien yang mengalami gangguan pertukaran gas fase akut.

The increase in cases of Coronavirus Disease (COVID 19) has occurred in the world and Indonesia in the last two months. COVID 19 is the cause of acute respiratory problems in the body, which if not treated quickly, can lead to death. This case report analyzes the provision of nursing interventions to support oxygen therapy with a nasal cannula and semi-Fowler's position in COVID-19 patients who are standardly receiving oxygen therapy with a non-rebreathing mask. This case report uses the case report method and is evaluated by measuring oxygen saturation, respiratory rate, and the presence of work of breathing in moderate-severe-critical COVID-19 patients. The intervention provided was the provision of nursing interventions in the form of oxygen therapy with a non-rebreathing mask, nasal cannula, and the provision of a semi-Fowler position. The intervention was carried out in one shift with observations every 15 minutes in the first hour on three participants. The evaluation results in this case report are that the intervention was proven to be able to increase oxygenation in COVID 19 patients. However, this intervention has not overcome the nursing problem of gas exchange disorders in COVID 19 patients. Oxygen saturation and respiratory rate have improved, but the respiratory rate and breathing work still show high numbers. Nurses need to look for other intervention modifications to improve patients with acute-phase gas exchange disorders."
Depok: Fakultas Ilmu Keperawatan Universitas Indonesia, 2021
PR-pdf
UI - Tugas Akhir  Universitas Indonesia Library
cover
Juang Arco Tangkas
"Studi kasus ini menjelaskan pengaturan fowler dan posisi lateral pada pasien lanjut usia terinfeksi covid-19 yang tidak toleransi terhadap posisi prone dalam mempertahan oksigenasi, intervensi dilakukan selama enam hari di rawat inap dengan durasi pengaturan posisi selama masing - masing 60 menit dan frekuensi 5 kali per hari. Posisi fowler dan lateral memiliki manfaat dalam membantu meningakatkan oksigenasi dan membantu kerja paru. Pengaturan posisi merupakan intervensi yang sederhana dan salah satu intervensi mandiri keperawatan. Dalam kasus ini intervensi dilakukan terhadap pasien lansia dirawat inap yang menggunakan alat bantu pernapasan HFNC karena gejala berat disertai ARDS dan sepsis. Studi kasus pada seorang lansia didapatkan bahwa terdapat peningakatan kadar spo2 sebesar 2% setelah dilakukan intervensi. Perlu diperhatikan bahwa pengaturan posisi hanya tatalaksana penunjang yang mudah untuk diterapkan, namun pada pasien yang mengalami gejala berat disertai ARDS dan sepsis  memerlukan perawatan yang intensif di ICU dan membutuhkan sedasi dan ventilator mekanis sejak awal sehingga kualitas perawatan dapat lebih efektif dan maksimal.

This case study describes the setting of the Fowler's position and the lateral position in elderly patients infected with COVID-19 and intolerant of the prone position in maintaining oxygenation, the intervention was carried out for six days in hospital with a duration of positioning for 60 minutes each and a frequency of 5 times. per day. Fowler and lateral positions have the benefit of helping to improve oxygenation and helping the lungs work. Positioning is a simple intervention and one of the independent nursing interventions. In this case, the intervention was carried out on elderly patients who were hospitalized using HFNC breathing apparatus because of severe symptoms accompanied by ARDS and sepsis. A case study on an elderly person found that there was an increase in spo2 levels of 2% after the intervention. It should be noted that the positioning is only a supportive treatment that is easy to apply, but in patients who experience severe symptoms with ARDS and sepsis require intensive care in the ICU and may require sedation and mechanical ventilation from the start so that the quality of care can be more effective and maximal. "
Depok: Fakultas Ilmu Keperawatan Universitas Indonesia, 2021
PR-pdf
UI - Tesis Open  Universitas Indonesia Library
cover
Chairul Huda
"Keterbatasan aliran udara masuk serta keluar dari paru-paru, gangguan ventilasi saluran pernafasan dan menurunnya kemampuan fungsi kerja otot-otot pernafasan menyebabkan terjadi defisit saturasi oksigen perifer pada pasien PPOK. Masalah defisit saturasi oksigen perifer sangat penting untuk diselesaikan, untuk itu diperlukan berbagai terapi untuk meningkatkan nilai saturasi oksigen pada pasien PPOK, diantaranya adalah Breathing Exercise. Penelitian ini menggunakan Breathing Exercise dengan Teknik Balloon Blowing untuk meningkatkan saturasi perifer pada pasien PPOK. Sampel dalam penelitian ini berjumlah 46 responden. Metode penelitan ini menggunakan pendekatan Kuantitatif dengan desain Quasy Experimental. Teknik pengambilan sampel dengan cara Consecutive Sampling sebanyak 46 responden PPOK yang dibagi kedalam kedua kelompok yaitu Intervensi (23 responden diberikan Balloon Blowing) dan Kontrol (23 responden diberikan Nafas Dalam). Hasil penelitian ini menunjukkan perubahan rerata nilai pada kelompok intervensi lebih tinggi sebelum dan sesudah perlakuan (Mean 1,61. P-value 0,000), dibandingkan kelompok kontrol (Mean 0,74. P-value 0,032). Rekomendasi, Peneliti mengharapkan lebih banyak penelitian breathing exercise balloon blowing pada pasien PPOK atau gangguan pernapasan dengan jangka waktu penelitian yang lebih lama. Simpulan dalam penelitian ini adalah ada pengaruh pemberian Breathing Exercise Balloon Blowing terhadap peningkatan saturasi oksigen perifer.

Limited airflow into and out of the lungs, impaired ventilation of the respiratory tract and decreased ability of the work function of the respiratory muscles to cause peripheral oxygen saturation deficits in COPD patients. The problem of peripheral oxygen saturation deficit is very important to be solved, therefore various therapies are needed to increase the oxygen saturation value in COPD patients, including Breathing Exercise. This study uses Breathing Exercise with Balloon Blowing Technique to increase peripheral saturation in COPD patients. The sample in this study amounted to 46 respondents. This research method uses a quantitative approach with a Quasy Experimental design. The sampling technique was Consecutive Sampling as many as 46 COPD respondents were divided into two groups, namely Intervention (23 respondents were given Balloon Blowing) and Control (23 respondents were given deep breaths). The results of this study showed that the change in the mean value in the intervention group was higher before and after treatment (Mean 1.61. P-value 0.000), compared to the control group (Mean 0.74. P-value 0.032). Recommendation, Researchers expect more research on breathing exercise balloon blowing in patients with COPD or respiratory disorders with a longer study period. The conclusion in this study is that there is an effect of giving Breathing Exercise Balloon Blowing to increase peripheral oxygen saturation."
Depok: Fakultas Ilmu Keperawatan Universitas Indonesia, 2022
T-pdf
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library
cover
Supadi
"ABSTRAK
Posisi tidur semifowler merupakan salah satu tindakan positioning dengan mengatur posisi tidur dengan cara meninggikan bagian kepala, bahu, punggung 20-30 derajat dari permukaan
horisontal tempat tidur.
Penelitian ini bertujuan untuk mengidentifikasi pengaruh posisi tidur semifowler terhadap
kualitas tidur klien gagal jantung. Penelitian ini menggunakan design kuasi eksperimen dengan
menggunakan sampel 38 responden, 19 responden mendapatkan intervensi atau perlakuan
dengan posisi tidur 20 derajat sedangkan 19 responden mendapatkan intervensi atau perlakuan
30 derajat. Instrumen yang digunakan untuk mengukur kualitas tidur dengan PSQI ( The
Pittburg Sleep Quality Index) dengan sedikit modifikasi instrumen dari peneliti. Hasil uji coba instrumen menghasilkan validitas dan reliabilitas instrumen denga alpha Cronbach`s 0.72 untuk semua komponen.
Data responden langsung di kumpulkan oleh peneliti di RSUD Banyumas. Data yang terkumpul
dan memenuhi kriteria dianalisa secara univariat dan bivariat menggunakan Uji t test
independent,uji Anova, chi square dan regresi linier sederhana.
Hasil penelitian menunjukan adanya pengaruh antara posisi tidur semifowler terhadap kualitas tidur klien gagal jantung ( p value = 0.032 alpha 0.05 ). Diharapkan penelitian ini memberikan manfaat bagi peningkatan pelayanan dan pendidikan serta perkembangan ilmu keperawatan
untuk mencapai pelayanan yang prima.
Disarankan pula hasil penelitian ini bisa dijadikan evidence based praktice dalam memberikan pelayanan di Rumah sakit.

ABSTRACT
Semi fowler position is one of the nursing interventions to improve shortness of breath or
dyspnea in patiens with heart failure. This position is provided to patients by letting head,
shoulder, and back lay on the bed with 20 to 30 degree high from the normal bed position. It is
expected to be beneficial also on quality of sleep. However, not so many researches were done
to support that this position correlated with patient`s quality of sleep.
The purpose of this study is to identify the effect of semifowler sleeping position on quality of
sleep with heart failure. A quasi experimental study was conducted and 38 subjects participated
in the study. Each half of the subjects grouped into two different sleeping positions which were
20 degree and 30 degree high. A modified instrument of The Pittburg Sleep Quality Index
(PSQI) was utilized to measure the qulity of sleep. The study was conducted at Banyumas
General Hospital, Central Java.
The t-test independent, Anova, Chi square, and simple linear regression were employed to
analyses the data. The findings demonstrated that there is a significant diferent between two semi
fowler sleeping position in patients with heart failure (p value 0.032; alpha 0.05) which could be
interpreted as the set of position become important to improve the quality of sleep of patients
with heart failure.
The recommendation of study is to use this result as foundation to improve nursing care to the
patients; nursing education curriculum, and to implement the result of the study as an approach
to create evidence based practice"
Jakarta: Fakultas Ilmu Keperawatan Universitas Indonesia, 2008
T-Pdf
UI - Tesis Open  Universitas Indonesia Library
cover
Moch Prastawa Assalim Tetra Putra
"Pulsa oksimeter Non Kontak dengan sensor berupa kamera CMOS dikembangkan oleh Humpfrey, 2005. Memodifikasi metode Humpfrey, dibangun sistem pengukuran Non Kontak memanfaatkan webcam sebagai sensornya. Pengambilan video dilakukan saat cahaya merah dan inframerah dihidupkan secara manual selama 5 detik. Sumber cahaya 660 nm dan 940 nm. Kotak area pengukuran 50 x 50 pixel. Menghitung nilai rerata pixel per kotak, mengeplot per frame, dihasilkan sinyal yang familier dengan pulsa oksimeter. Menghitung nilai SPO2 dari rumus rasio dan empiris kalibrasi. Dengan sampel 30 orang dewasa, dihasilkan nilai SPO2, dibandingkan peralatan standar, terjadi kesalahan terbesar 4%.

Non Contact Pulse oximeter with a CMOS camera as a sensor developed by Humpfrey, 2005. Modifying Humpfrey method, built system utilizing a webcam as a sensor non contact measurement. Video capture is done when the red and infrared light manually turned on for 5 seconds. Light source 660 nm and 940 nm. Box area measuring 50 x 50 pixels. Calculate the average value of pixels per box, plotting per frame, the resulting signal is familiar with the pulse oximeter. Calculate the SpO2 value of the ratio and empirical calibration formula. With a sample of 30 adults, resulting SpO2 value ,compared with standard equipment, the largest error occurs 4%."
Salemba: Program Pascasarjana Universitas Indonesia, 2014
T-Pdf
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library
cover
Doniaji Riandito
"Penelitian ini menggunakan air sebagai senyawa untuk menyerap Terlarut melalui Super Hidrofobik membran kontaktor. Tujuan dari penelitian ini adalah untuk mengetahui kemampuan Super Hyfrophobic membran dalam menyerap Terlarut menggunakan AIR melalui evaluasi perpindahan massa dan hidronamik. Pada penelitian ini, aliran Terlarut mengalir di tube dan air dengan laju alir yang bervariasi mengalir secara berlawanan di shell. Jumlah serat yang digunakan dalam percobaan ini adalah 3000. Hasil penelitian ini menunujukkan bahwa kenaikan koefisien perpindahan massa, flux dan absorpsi terjadi seiring kenaikan laju alir pelarut air.

This study is using water as a compound to absorb the dissolved through Super Hydrophobic membrane contactor. The purpose of this study was to determine the ability of Super Hydrophobic membrane to absorb the dissolved using water through the evaluation of mass transfer and hydrodynamic study. In this study, the flow of dissolved flowing in the tube and water with varying flow rate flowing in the opposite shell. The number of fiber used in this experiment was 3000. The results of this study indicate that the increase in the mass transfer coefficient, flux and absorption occurs as the increase in the flow rate of the solvent water."
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2016
S64504
UI - Skripsi Membership  Universitas Indonesia Library
cover
Akhadiana
"Lapisan indium timah oksida (ITO, 90wt% In203 - lOwt% SnO2) dengan ketebalan 349 - 1081 nm dan variasi tekanan parsial oksigen 2,2% - 10,5% selama deposisi telah berhasil dibuat dengan do magnetron sputering. Dilakukan studi mengenai pengaruh tekanan parsial oksigen dan anil udara pasca deposisi pada sifat optis lapisan tipis ITO. Tekanan parsial oksigen tidak berpengaruh pada derajat kristalinitas dan preferred orientation lapisan tipis. Parameter-parameter optis ditentukan dengan metoda Hishikawa yang mengabaikan interferensi. Anil udara pasca deposisi dilakukan berturut-turut pada suhu 250°C, 300°C, 350°C dan 400°C selama 1 jam di udara. Meskipun kekasaran permukaan meningkat selama anil, baik kenaikan tekanan parsial oksigen maupun anil udara pasca deposisi secara kumulatif umumnya menaikkan transmitansi dan celah pita energi disertai dengan penurunan indeks bias nyata dan pergeseran koefisien absorpsi menuju energi yang lebih tinggi. Pergeseran celah pita energi ITO hanya dapat dimengerti sebagai dua mekanisme yang saling berlawanan yaitu mekanisme pelebaran oleh efek Burstein-Moss dan mekanisme penyempitan oleh efek hamburan elektron. Atom-atom Sn yang mengalami aktivasi setelah anil udara berlaku sebagai donor-donor aktif pada pergeseran Burstein-Moss. Efek hamburan elektron disebabkan oleh kelebihan oksigen, derajat kristalinitas yang rendah dan kompleks-kompleks Sn yang tidak aktif.

Indium tin oxide (ITO, 90wt% In203 - 10wt% Sn02) films of 349 - 1081 nm thick have been deposited by dc-magnetron sputtering at varying oxygen partial pressure of 2.2% - 10.5% during deposition. The effects of oxygen partial pressure and post-deposition air annealing on the optical properties of ITO films are studied. The degree of crystallinity and preferred orientation of the films is found not to be sensitive to oxygen content. Optical parameters are determined by Hishikawa interference free method. Post-deposition annealing of ITO-coated glass substrates is performed at temperature of 250°C, 300°C, 350°C and 400°C respectively for 1 h in air. Despite the roughness developed on surface during annealing, both increase in oxygen partial pressure and cumulative post-deposition air annealing enhances transmittance and energy gap accompanied by a decrease of the real part of refractive index and a shift of absorption coefficient to higher energies. Band gap shifts can be understood as the net result of two competing mechanisms : a widening due to Burstein-Moss effect and a narrowing due to electron scattering. Sn atoms, which are activated after annealing, behave as effective donors and contribute to Burstein-Moss shift. Electron scattering is attributed to excess of oxygen content, low degree of crystallinity and inactive Sn complexes."
Depok: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 1997
T-Pdf
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library
<<   1 2 3 4 5 6 7 8 9 10   >>