Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Rayzi Rizqika, author
ABSTRAK
Pengembangan metode fotolitografi dengan metode UV LED telah berkembang secara
massif dalam satu dekade ini. Teknologi ini telah sangat dikenal untuk melakukan
pembuatan pola dari suatu photo-mask yang selanjutnya akan ditransfer ke sebuah
spesimen atau substrat dengan cara pencahayaan memakai sinar UV LED. Saat ini,
teknologi fotolitografi telah dikembangkan secara lebih masif lagi untuk...
2019
S-Pdf
UI - Skripsi (Membership) Universitas Indonesia Library