Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Ignatia Averina Chita Nirmala, author
ABSTRAK
Maskless photolithography menggunakan proyektor DLP merupakan
proses yang mudah dan sederhana, namun durasi pemaparan jika hanya
menggunakan cahaya tampak memakan waktu cukup lama. Inovasi yang diajukan
adalah pencahayaan hibrida antara sinar tampak dan sinar UV, dengan tujuan
mempersingkat durasi pemaparan. Dalam penelitian ini akan dibahas tentang
pengaruh pemaparan secara hibrida, yaitu penambahan cahaya UV pada...
2019
S-Pdf
UI - Skripsi (Membership) Universitas Indonesia Library
