Ditemukan 2 dokumen yang sesuai dengan query
Rayzi Rizqika, author
ABSTRAK
Pengembangan metode fotolitografi dengan metode UV LED telah berkembang secara
massif dalam satu dekade ini. Teknologi ini telah sangat dikenal untuk melakukan
pembuatan pola dari suatu photo-mask yang selanjutnya akan ditransfer ke sebuah
spesimen atau substrat dengan cara pencahayaan memakai sinar UV LED. Saat ini,
teknologi fotolitografi telah dikembangkan secara lebih masif lagi untuk...
2019
S-Pdf
UI - Skripsi Membership Universitas Indonesia Library
KGS. M. Ismail, author
Mikrofluidik merupakan ilmu yang mengacu pada bidang sains dan teknologi untuk memanipulasi fluida dalam suatu jaringan di dalam channel yang dimensinya antara 5 - 500 μm. Tahapan proses yang dilakukan pada teknologi microfabrication yaitu desain, microstucturing dan back-end processes. Desain adalah bentuk dari channel yang diinginkan. Microstucturing adalah metode teknologi...
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2012
T31767
UI - Tesis Open Universitas Indonesia Library