Hasil Pencarian  ::  Kembali

Hasil Pencarian

Ditemukan 2 dokumen yang sesuai dengan query
cover
Rayzi Rizqika, author
ABSTRAK
Pengembangan metode fotolitografi dengan metode UV LED telah berkembang secara massif dalam satu dekade ini. Teknologi ini telah sangat dikenal untuk melakukan pembuatan pola dari suatu photo-mask yang selanjutnya akan ditransfer ke sebuah spesimen atau substrat dengan cara pencahayaan memakai sinar UV LED. Saat ini, teknologi fotolitografi telah dikembangkan secara lebih masif lagi untuk...
2019
S-Pdf
UI - Skripsi (Membership)  Universitas Indonesia Library
cover
KGS. M. Ismail, author
Mikrofluidik merupakan ilmu yang mengacu pada bidang sains dan teknologi untuk memanipulasi fluida dalam suatu jaringan di dalam channel yang dimensinya antara 5 - 500 μm. Tahapan proses yang dilakukan pada teknologi microfabrication yaitu desain, microstucturing dan back-end processes. Desain adalah bentuk dari channel yang diinginkan. Microstucturing adalah metode teknologi...
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2012
T31767
UI - Tesis (Open)  Universitas Indonesia Library