Ditemukan 2 dokumen yang sesuai dengan query
Rosari Saleh, author
Pengaruh perlakuan anil termal terhadap besaran optis lapisan tipis amorf silikon karbon yang dideposisi menggunakan target silikon dalam campuran gas argon, metan dan hidrogen dipelajari dengan menggunakan spektroskopi ultra violet-visible (uv-vis). Baik n maupun α, demikianpula bagian riil dan imajiner fungsi dielektrik cukup bervariasi terhadap peningkatan temperatur anil sampai 500...
Depok: Lembaga Penelitian Universitas Indonesia, 2003
AJ-Pdf
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
Rosari Saleh, author
Studi tentang pengaruh anil termal terhadap besaran optis dan disorder lapisan tipis amorf silikon karbon terhidrogenasi (a-SiC:H) telah dilakukan. Lapisan tipis dihasilkan dengan teknik deposisi sputtering menggunakan target grafit dan wafer silikon yang dilakukan dalam campuran gas argon dan hidrogen, kemudian dikarakterisasi dengan spektroskopi uv-vis (ultra violet-visible) sebelum dan setelah...
Depok: Lembaga Penelitian Universitas Indonesia, 2003
AJ-Pdf
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
