Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Muslimin, author
Telah dibuat lapisan tipis Indium Tin Oxide (In2O3 : SnO2 ; ITO) pada substrat kaca dengan cara dc magnetron sputtering. Perbandingan gas Argon dan oksigen dalam sputter divariasikan dari 3.1%, 5.1%, 8.0% dan 8.9%. Sampel yang dibuat digunakan untuk mempelajari pengaruh tekanan parsial oksigen terhadap sifat listrik lapisan tipis Indium...
Depok: Universitas Indonesia, 1998
T-Pdf
UI - Tesis (Membership) Universitas Indonesia Library
