::  Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

Cuk Imawan, author

ABSTRAK
Pada eksperimen ini telah dibuat film TiN dengan metode sputering magnetron reaktif pada temperatur substrat 325°C, 230°C , dan 125°C. Hasil pengukuran XRD menunjukkan bahwa film-film dengan fasa δ-TiN dapat diperoleh dengan proses deposisi pada daerah laju alir nitrogen yang cukup lebar (15,1 ml/min - 16,6 ml/min), tanpa dipengaruhi oleh...

1995

T-Pdf

UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library

• Cari yang mirip
• Tambahkan ke Favorit
• Abstrak