Kehadiran tetrahedral denganikatan homopolar pada lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode Dc sputtering dengan target grafit dan silikon
Artikel Jurnal
Pengaruh perbedaan material target sputtering terhadap konstanta optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode dc sputtering
Artikel Jurnal
Rosari Saleh, author
Pengaruh anil termal terhadap besarn optis lapisan tipis a-SiC:H hasil metode sputtering I. target silikon
Lembaga Penelitian Universitas Indonesia, 2003
Artikel Jurnal
Mersi Kurniati, author
Penentuan jenis kecenderungan ikatan lokal atomik untuk lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi sputtering dengan 2 jenis target: grafit dan siliko
2000
UI - Tesis (Membership)
Identifikasi struktur ikatan pada lapisan tipis amorf silikon karbon (A-sic:H) hasil deposisi DC sputtering dengan menggunakan spektroskopi inframerah
Artikel Jurnal
<<
1
2
3
>>