Pengaruh anil termal terhadap besarn optis lapisan tipis a-SiC:H hasil metode DC sputtering II. target grafiti

Pengaruh perbedaan material target sputtering terhadap konstanta optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode dc sputtering

aPengaruh perbedaan material target sputtering terhadapkonstansa optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode DC Sputtering

Pengaruh anil termal terhadap mode -mode vibrasi inframerah lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DCsputtering dengan target grafit

Pengaruh peningkatan flow gas metan terhadap sifat optis lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering