aPengaruh perbedaan material target sputtering terhadapkonstansa optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode DC Sputtering

Pengaruh peningkatan flow gas metan terhadap sifat optis lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering

Penentuan konstanta optis dengan menggunakan spektrum transmisi untuk lapisan tipis amorf silikon karbon(a-SiC:H) hasil deposisi DC sputtering

Studi disorder lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering

Indeks bias dan relasinya terhadap struktur ikatan lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode dc sputtering