Studi spektroskopi electron spin resonance (ESR) lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering Rosari Saleh

Studi spektroskopu electron spin resonance lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering

aPengaruh perbedaan material target sputtering terhadapkonstansa optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode DC Sputtering

Pengaruh perbedaan material target sputtering terhadap konstanta optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode dc sputtering

Indeks bias dan relasinya terhadap struktur ikatan lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode dc sputtering