Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

Abstrak :
Teknologi microstructur seperti proses lithography masih menjadi pekerjaan yang mahal dan susah dilakukan. Modifikasi metode dilakukan seperti mengganti light source dari UV light atau X-ray dengan visible light dan tanpa cetakan (maskless) kemudian mengganti proses removal material yang umumnya menggunakan echant diganti dengan proses biomachining untuk lebih menghemat energi dan biaya. Kedua proses akan digabungkan untuk lebih menghemat biaya, memudahkan proses dan ramah lingkungan. Proses dilakukan dengan menggunakan profil dari laptop kemudian ditampilkan melalui proyektor DLP komersial yang menyinari speciment uji. Lensa pemfokus diletakan dibawah proyektor untuk mendekatkan titik fokus dan memperkecil profil. Pemilihan kombinasi warna, pengaturan waktu proses lithography dilakukan untuk mendapat hasil terbaik. Menggunakan projector komersial, maskless photolithography pada negative resist tone berhasil dilakukan. Menggunakan kombinasi warna hitam-biru terang (R=0, G=176, B=240) dengan posisi lensa pembesaran 3X berjarak 3 cm dibawah proyektor dan 14 cm diatas speciment uji ditambah pengaturan waktu prebake 1 menit, exposure 7 menit, postbake 5 menit, developing 5 menit menghasilkan profil terkecil 166 µm dengan defiasi 13,7 µm. Penambahan proses biomachining dengan bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans NBRC 14262 pada speciment uji berbahan tembaga juga berhasil dilakukan dengan profil terkecil 200 µm dengan deviasi 26 µm.

---

Microstructur technologies such as lithography process is still costly and difficult job done. Modification of the method is done such as replacing light source of UV light and X-rays to visible light and without prints (maskless) then change the material removal process generally uses echant replaced with biomachining process for energy and cost savings. Both processes will be combined for savings, ease of processing and environmentally friendly. The process is done by using the profile of a laptop then displayed through a commercial DLP projector shining speciment test. Fokusing lens placed under the projector to draw the focal point and reduces the size of the profile. Searched the best parameter set exposure time, developing time, variation profiles, fokusing, colors combination and optical aspect. Using a commercial projector, maskless photolithography on a negative resist tone successfully performed. The best characteristic is obtained by placing the focusing lens 3X magnification within 3 cm below the projector and 14 cm above speciment test, color combination of black-light blue (R = 0, G = 176, B = 240), with the timing of prebake 1 minute, exposure 7 minutes, postbake 5 minutes, developing 5 minutes produces the smallest profile 166 µm with 13,7 µm deviation. Biomachining process with bacteria Acidithiobacillus ferrooxidans NBRC 14262 on copper was also successfully performed with the smallest profile of 180 µm with deviation of 26 µm.

Abstrak :
Maskless photolithography merupakan salah satu varian teknologi litografi dengan proses pemolaan pada substrat seperti wafer semikonduktor yang dilakukan tanpa mask. Terdapat berbagai jenis maskless photolithography, dengan salah satunya menggunakan laser sebagai basisnya. Pada riset ini, doping tipe-P pada semikonduktor silikon tipe-N dengan menggunakan metode maskless photolithography berbasis laser diteliti secara komprehensif. Selain itu, kecepatan, daya, dan frekuensi juga ditinjau agar parameter laser yang dapat digunakan untuk proses doping tipe-P pada semikonduktor silikon tipe-N dapat diketahui. Pada akhir penelitian ini, disimpulkan parameter kecepatan, daya, dan frekuensi untuk pembukaan diffusion window wafer silicon on insulator (SOI) untuk doping serta doping tipe-P di semikonduktor silikon tipe-N ialah 300 – 2.700 mm/s, 15 – 27 W, dan 80 kHz serta 300 mm/s, 28,5 W, dan 80 kHz. ......Maskless photolithography is a variant of lithography technology where the patterning process on a substrate such as a semiconductor wafer is carried out without a mask. There are various types of maskless photolithography, one of which uses a laser as its basis. In this research, P-type doping on N-type silicon semiconductors by using a laser-based maskless photolithography method is comprehensively explored. In addition, speed, power and frequency are also assessed so that the laser parameters that can be used for the P-type doping process on N-type silicon semiconductors can be identified. At the end of this research, it is concluded that the speed, power and frequency parameters for opening the diffusion window of silicon wafer on insulator (SOI) for doping and P-type doping on N-type silicon semiconductors are 300 – 2,700 mm/s, 15 – 27 W, and 80 kHz as well as 300 mm/s, 28.5 W, and 80 kHz.

Abstrak :
ABSTRAK
Maskless photolithography menggunakan proyektor DLP merupakan proses yang mudah dan sederhana, namun durasi pemaparan jika hanya menggunakan cahaya tampak memakan waktu cukup lama. Inovasi yang diajukan adalah pencahayaan hibrida antara sinar tampak dan sinar UV, dengan tujuan mempersingkat durasi pemaparan. Dalam penelitian ini akan dibahas tentang pengaruh pemaparan secara hibrida, yaitu penambahan cahaya UV pada pemaparan dengan DLP, terhadap waktu yang dibutuhkan untuk proses pemaparan. Proyektor DLP memiliki sebuah chip DMD yang fungsinya memantulkan cahaya secara pixel, maka DLP dapat digunakan sebagai alat maskless photolithography. Jika gelombang cahaya semakin kecil, maka frekuensi semakin besar, sedangkan energi berbanding lurus dengan frekuensi. Maka itu dibutuhkan gelombang cahaya yang kecil, agar intensitas yang masuk lebih banyak dan mempersingkat waktu. Pemaparan hibrida dilakukan dengan menggabungan cahaya sinar UV dari luar proyektor DLP. Dalam penelitian ini didapatkan rasio antara sumber hibrida dan total durasi pemaparan sebesar 1:15. Hasil yang didapat dengan metode tersebut dapat mempercepat proses pemaparan sekitar 60%, dibandingkan dengan cahaya tampak saja.

---

ABSTRACT
Maskless Photolithography using DLP projector is simple and easy, but with only visible light as its source, the exposure process takes quite some time. This research purposed hybrid lighting from visible light and UV light with the aim of shortening the exposure time. This research will explain about how the DLP works to provide maskless photolithography and the effect of UV light addition to the exposure time. DLP projector has a chip, called DMD, to reflect light from the source in pixel form, therefore, DLP can be used for maskless photolithography. The shorter the wavelength of light, the higher the frequence of that light, and energy is directly proportional to frequency. Thats why maskless photolithography needs light with short wavelength. This hybrid light system has been done with combining two light sources which are visible light in the DLP projector and adding UV light from the outside. This hybrid exposure. In this research, the ratio between hybrid lighting and total exposure time is 1:15. The result that we get from this method saves around 60% of time that was consumed with visible light exposure.

Abstrak :
Fabrikasi mikro telah digunakan untuk berbagai aplikasi di bidang engineering seperti micro gear, micro heat exchanger serta dapat diaplikasikan di bidang biologi dan kedokteran seperti micro needle, micro fluidic, dan bracket orthodontics. Penelitian yang dilakukan yaitu modifikasi permukaan pada material steel SKD 61 dengan metode etching untuk mendapatkan surface roughness kontur kedalaman mesh braket ortodontik menggunakan larutan FeCl3 sebagai etchant dengan berbagai variasi pola pocket lingkaran, pocket persegi channel heksagonal hasil maskless photolithography untuk mengetahui feasibility pembuatan mold braket ortodontik yang sesuai dengan kontur gigi dengan metode etching. Pada penelitian ini didapatkan bahwa secara keseluruhan nilai Ra tiap kenaikan waktu mengalami peningkatan, dengan range nilai Ra pocket yaitu 0,36 m - 0,74 m dan nilai Ra optimum 0,51 m sedangkan untuk channel dengan nilai Ra optimum 0, 63 m hampir mendekati Ra ideal pada braket ortodontik yaitu 0,53 m. Kedalaman optimum pada pocket yaitu 175,4 m dan channel 107,7 m mendekati kedalaman ideal pada braket ortodontik yaitu sebesar 150 m. Untuk nilai MRR dan SMRR tidak memiliki tren yang jelas karena naik dan turun setiap perubahan waktu. Surface yang terbentuk memiliki tren hasil pemakanan yang cenderung menghasilkan bentuk U dengan kondisi tidak mengerucut dibagian atas feasible untuk injection molding namun belum memiliki spesifikasi kontur dan kekasaran yang optimum sehingga metode etching memiliki potensi untuk di aplikasikan ke mold braket ortodontik.

---

Micro fabrication has been used for many application at engineering such as micro gear, micro heat exchanger, also nowadays can be applied at biological or medic such as micro needle, micro fluidic and bracket orthodontics. The objective of research to modify the surface on steel SKD 61 material to get optimum surface roughness contour of mesh using FeCl3 as enchat with various pattern circle pocket, square pocket hexagonal channel of maskless photolithography to know the feasibility of mold bracket orthodontics fabrication that appropiate with teeth contour. From this research, the range of pocket Ra value 0,36 m 0,74 m and optimum Ra value is 0,51 m, then for channel has optimum Ra value 0,63 approxiamtely close to Ra value that needed on bracket orthodontics 0,53 m. The depth of pocket has optimum value 175,4 m, then channel has optimum value 107,7 m close to optimum depth value of bracket orthodontics 150 m. MRR and SMRR value not showing trend of increasing or decreasing specificly. Surface characteristic after etching process disposed to make U shape which has no conical shape on the upper side feasible for injection molding but don rsquo t have spesification of optimum value contour surface roughness, so etching method has potential to be applied on mold bracket otrthodontics.

Abstrak :
Proses Biomachining merupakan pemesinan yang masih awam bagi sektor industri. Penggunaan biomachining dapat menjadi alternatif dalam mikrofabrikasi jika dilihat dari penggunaan mikroorganisme sebagai cutting tools. Mikroorganisme yang dapat dimanfaatkan yaitu salah satunya adalah Acidithiobacillus ferrooxidans, dimana bakteri ini dapat memproses material nikel. Pada penelitian ini, hal yang menjadi fokus utama adalah pemanfaatan material nikel dalam rekayasa pembuatan microneedle dengan menggunakan proses hybrid milling biomachining untuk mengetahui apakah akan mendapatkan hasil yang presisi dan membuat proses biomachining menjadi efisien. Penelitian ini akan menggunakan material nikel dengan strategi proses yang berbeda antara satu dengan lainnya, dimana pada material pertama akan menggunakan strategi material turun kedalam larutan biomachining sedangkan untuk material kedua akan menggunakan strategi material naik dari dalam larutan biomachining. Perbedaan strategi proses ini yaitu untuk mengetahui apakah dengan menambahkan hal ini dapat membuat pemakanan akan menjadi lebih optimal dan sesuai dengan aspek rasio yang dibutuhkan untuk pembuatan microneedle atau tidak. Penelitian dilakukan selama 72 jam dengan ukuran pola menggunakan maskless photolithography sebesar 800 μm. Hasil yang didapatkan dari kedua strategi proses ini saling bertolak belakang, dimana untuk strategi proses turun memiliki profil diameter yang lebih besar, dan untuk strategi proses naik memiliki profil kedalaman yang lebih besar. Nilai dari diameter dan kedalaman untuk strategi turun yang dihasilkan secara berturut-turut adalah 872,5 μm dan 1.880,25 μm, sedangkan untuk diameter dan kedalaman pada strategi naik yang dihasilkan secara berturut-turut adalah 830 μm dan 1.887,75 μm. Aspek rasio yang dihasilkan untuk strategi turun dan naik, yaitu sebesar 0,49 dan 0,44. ......The Biomachining process is still relatively unfamiliar to the industrial sector. The use of biomachining can be an alternative in microfabrication considering the use of microorganisms as cutting tools. One such microorganism that can be utilized is Acidithiobacillus ferrooxidans, which can process nickel material. This study focuses on the utilization of nickel material in the engineering of microneedles using a hybrid milling biomachining process to determine whether precise results can be obtained and whether the biomachining process can be made efficient. The study will use nickel material with different process strategies. In the first strategy, the material will be submerged into the biomachining solution, while in the second strategy, the material will rise from within the biomachining solution. The purpose of these different process strategies is to determine whether this adjustment can make the machining more optimal and meet the aspect ratio required for microneedle fabrication. The research will be conducted over 72 hours using a pattern size of 800 µm created by maskless photolithography. The results obtained from the two process strategies are contrasting: the downward process strategy yields a higher diameter profile, while the upward process strategy yields a higher depth profile. The diameter and depth values for the downward strategy are 872,5 µm and 1.880,25 µm, respectively. For the upward strategy, the diameter and depth values are 830 µm and 1.887,75 µm, respectively. The aspect ratios produced for the downward and upward strategies are 0.49 and 0.44, respectively.

Abstrak :
Microneedle adalah teknologi kesehatan berukuran mikro untuk menginjeksikan cairan atau obat ke lapisan luar kulit. Pendekatan hybrid milling dan biomachining diharapkan meningkatkan efisiensi dan presisi dalam pembuatan microneedle dengan dimensi mikro dan akurasi tinggi. Hybrid milling menggabungkan teknik pemesinan konvensional dengan biomachining, menggunakan bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans untuk mengurangi dimensi material sesuai rencana. Penelitian ini menguji dua jenis material, tembaga dan nikel, untuk menentukan material optimal berdasarkan aspek rasio (diameter terhadap ketinggian). Hasil menunjukkan bahwa hybrid milling dan biomachining dapat menghasilkan microneedle yang sangat mendekati ukuran ideal pada material tembaga, namun tembaga tidak disarankan untuk aplikasi medis karena mudah korosi, yang dapat membahayakan pasien. Maka dari itu, tembaga hanya digunakan sebagai perbandingan dengan nikel dan cocok untuk proses biomachining. Sebaliknya, nikel menunjukkan performa lebih baik dalam hal kekuatan dan ketahanan korosi, menjadikannya pilihan lebih aman dan efektif. Akan tetapi, hasil penelitian pada material nikel masih kurang maksimal. Penelitian pada proses biomachining dilakukan selama 72 jam dengan ukuran pola dalam proses maskless photolithography sebesar 800 μm. Selanjutnya, terdapat hasil diameter dan ketinggian dari material tembaga setelah dilakukan proses biomachining, yaitu 713 μm dan 1777,625 μm. Selain itu, pada material nikel memiliki hasil diameter dan ketinggian, yaitu 800,21 μm dan 1854,75 μm. Aspek rasio yang dihasilkan pada material tembaga dan nikel, yaitu sebesar 0,401 dan 0,431. ......Microneedle technology, designed for micro-scale health applications, injects fluids or drugs into the outer skin layer. The hybrid milling and biomachining approach aims to enhance efficiency and precision in manufacturing microneedles with micro dimensions and high accuracy. Hybrid milling combines conventional machining techniques with biomachining, using Acidithiobacillus ferrooxidans bacteria to reduce material dimensions as planned. This study tests two types of materials, copper and nickel, to determine the optimal material based on the aspect ratio (diameter to height). Results indicate that hybrid milling and biomachining can produce microneedles that closely approach the ideal size in copper. However, copper is not recommended for medical applications due to its susceptibility to corrosion, which can endanger patients. Therefore, copper is used only for comparison with nickel and is suitable for the biomachining process. Conversely, nickel demonstrates better performance in terms of strength and corrosion resistance, making it a safer and more effective choice. However, the results for nickel are still not optimal. The biomachining process was conducted for 72 hours with a pattern size of 800 µm in the maskless photolithography process. The copper material resulted in a diameter and height of  713 µm and 1777,625 µm, respectively, after biomachining. Additionally, the nickel material showed a diameter and height of  800,21 µm and 1854,75 µm. The aspect ratios for copper and nickel materials were 0,401 and 0,431.

Abstrak :
Biomachining diperlukan untuk merekayasa logam dengan bantuan mikroorganisme berupa bakteri, salah satunya adalah Acidithiobacillus ferrooxidans. Bakteri tersebut digunakan untuk merekayasa material tembaga melalui proses biomachining. Tembaga tersebut direkayasa dengan membuat pola agar bakteri memakan tembaga mengikuti pola yang dibuat. Pembuatan pola dilakukan menggunakan gambar yang diproyeksikan menggunakan sinar UV (ultraviolet), metode ini dinamakan maskless photolithography. Penelitian ini berfokus pada tembaga single crystal. Data profil permukaan tembaga hasil biomachining diambil dari data literatur .Pengolahan data dilakukan dengan mencari trendline pada hasil interpolasi tiap data. Trendline tersebut digunakan untuk memperoleh pola pemakanan bakteri dan dapat memprediksi lama waktu biomachining yang dibutuhkan untuk membuat microneedle. Data profil permukaan tersebut juga digunakan untuk mendapatkan perbedaan kekasaran permukaan pada tembaga single crystal dan tembaga polycrystalline yang kemudian digunakan parameter pada pengujian heat exchanger. Hasil yang didapatkan adalah penggunaan tembaga single crystal melalui proses biomachining mungkin dilakukan pada pembuatan microneedle. Sedangkan, penggunaan tembaga single crystal pada pembuatan micro-channel heat exchanger melalui proses biomachining tidak menghasilkan perbedaan yang signifikan dengan tembaga polycrystalline

---

Biomachining is needed to engineer metals with the help of microorganisms in the form of bacteria, one of which is Acidithiobacillus ferrooxidans. The bacteria are used to fabricate copper material through the process of biomachining. The copper is engineered by making a pattern so that bacteria eat copper following the pattern made. Pattern making is done using images projected using UV (ultraviolet) light, this method is called maskless photolithography. This research focuses on single crystal copper. Copper surface profile data from biomachining results were taken from literature data. Data processing was done by looking for trends in the interpolation results of each data. The trendline was used to obtain bacterial eating patterns and can predict the length of biomachining required to make microneedles. The surface profile data is also used to obtain differences in surface roughness in single crystal copper and polycrystalline copper which are then used parameters in the heat exchanger test. it is possible to use single crystal copper through the process of biomachining in the manufacture of microneedles, whereas the use of single crystal copper in the manufacture of micro-channel heat exchangers through the process of biomachining does not provide a significant difference with copper polycrystalline.