Ditemukan 32 dokumen yang sesuai dengan query
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
Lusitra Munisa, author
Depok: Makara Seri Sains, 2002
AJ-Pdf
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
Lee Chan Uk, author
Resistansi listrik lapisan tipis tin doped indium oxide (In203:Sn, ITO) yang dibuat dengan cara dc magnetron sputtering telah diteliti. Resistivitas yang diukur dengan cara empat titik berkisar dari 1.2 x 10'3 Slcm sampai 7.9 x 10-3 SZcm tergantung dari kadar oksigen pada temperatur ruangan. Di bawah temperatur 100 K, kerapatan...
Depok: Universitas Indonesia, 1997
T-Pdf
UI - Tesis (Membership) Universitas Indonesia Library
Cuk Imawan, author
ABSTRAK
Pada eksperimen ini telah dibuat film TiN dengan metode sputering magnetron reaktif pada temperatur substrat 325°C, 230°C , dan 125°C. Hasil pengukuran XRD menunjukkan bahwa film-film dengan fasa δ-TiN dapat diperoleh dengan proses deposisi pada daerah laju alir nitrogen yang cukup lebar (15,1 ml/min - 16,6 ml/min), tanpa dipengaruhi oleh...
1995
T-Pdf
UI - Tesis (Membership) Universitas Indonesia Library
Rosari Saleh, author
Pengaruh perlakuan anil termal terhadap besaran optis lapisan tipis amorf silikon karbon yang dideposisi menggunakan target silikon dalam campuran gas argon, metan dan hidrogen dipelajari dengan menggunakan spektroskopi ultra violet-visible (uv-vis). Baik n maupun α, demikianpula bagian riil dan imajiner fungsi dielektrik cukup bervariasi terhadap peningkatan temperatur anil sampai 500...
Depok: Lembaga Penelitian Universitas Indonesia, 2003
AJ-Pdf
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
